美國丹納赫傳動以Dover為商標，推出用于半導體后端工藝的完善的晶片定位系統(tǒng)。美國丹納赫傳動設(shè)計和制造了各種定位系統(tǒng)，特別為縮短制造時間和優(yōu)化制造水平而設(shè)計了直接插拔系統(tǒng)。

運轉(zhuǎn)更平滑，更安靜，更快

晶片爐系統(tǒng)應(yīng)用

美國丹納赫傳動高精度直線運動系統(tǒng)、滑軌和臺架，使晶片加工設(shè)備運轉(zhuǎn)更長久、更平滑……周而復始地運轉(zhuǎn)。

從電機到減速器、執(zhí)行器直到軸承系統(tǒng)，具有50多年的經(jīng)驗和最廣泛的產(chǎn)品選擇，可以從同一技術(shù)源設(shè)計最節(jié)省成本、最高性能的成套解決方案。

晶片輸送系統(tǒng)應(yīng)用

美國丹納赫傳動高精度直線運動系統(tǒng)、滑軌和臺架，使芯片加工設(shè)備運轉(zhuǎn)更長久更平滑……周而復始地運轉(zhuǎn)。

從電機到減速器、執(zhí)行器直到軸承系統(tǒng)，具有50多年的經(jīng)驗和最廣泛的產(chǎn)品選擇，可以從同一技術(shù)源設(shè)計最節(jié)省成本、最高性能的成套解決方案。

美國丹納赫傳動的高性能定位系統(tǒng)舉例

高性能200mm和300mm晶片平臺：

美國丹納赫傳動Triathalon平面空氣軸承、直線運動晶片平臺能夠產(chǎn)出精確、高生產(chǎn)率和穩(wěn)定性的最終產(chǎn)品。

空氣軸承FPD臺架系統(tǒng)：

美國丹納赫傳動的行業(yè)領(lǐng)先的通用型5、6和7套臺架系統(tǒng)能夠滿足最苛刻的環(huán)境要求。

恒速掃描平臺：

美國丹納赫傳動空氣軸承掃描平臺具有31皮米分辨率和保持低于5納米的CV跟蹤誤差，專為大多數(shù)高要求圖像應(yīng)用而設(shè)計。

高真空定位系統(tǒng)：

用來使整體直接進入處理腔(最小抽真空級1 X 10 -8 Torr)。

高速空氣軸承：

能夠在非常緊湊的X軸組件里進行高效率晶片掃描。