近日，科技部發(fā)布了《科技部關于發(fā)布國家重點研發(fā)計劃“高性能制造技術與重大裝備”等6個重點專項2023年度項目申報指南的通知》。其中，“智能傳感器”重點專項圍繞智能傳感基礎及前沿技術、傳感器敏感元件關鍵技術、譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應用、傳感器研發(fā)支撐平臺等4個方向進行布局，涵蓋共性關鍵技術19項、應用示范5項、基礎研究11項。

清單如下：

1 智能傳感基礎及前沿技術

1.1 太赫茲源—測集成技術及傳感器（基礎研究類）

1.2 微機電雙諧振差頻傳感機理及溫度傳感器（基礎研究類）

1.3 仿神經(jīng)丘感算一體技術及微壓流場傳感陣列（基礎研究類）

1.4 摩擦電調控場效應作用機理及觸覺傳感技術研究（基礎研究類）

1.5 框架核酸的分子識別機理及生物傳感器研究（基礎研究類）

1.6 熒光納米復合材料傳感機理及生物傳感器研究（基礎研究類）

1.7 柔性壓電復合材料力電耦合調控方法及結構共形器件（基礎研究類）

1.8 敏感材料組分有序調控工藝及跨尺度共體傳感器（基礎研究類）

1.9 晶圓級碳化硅微納加工工藝及傳感器研制（基礎研究類）

1.10 微納傳感器激光加工新工藝研究（基礎研究類，青年科學家項目）

1.11 超低功耗微納傳感器敏感元件技術研究（基礎研究類，青年科學家項目）

2 傳感器敏感元件關鍵技術

2.1 汽車安全氣囊系統(tǒng)雙軸加速度敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.2 高靜壓下差壓測量敏感元件及多參數(shù)檢測傳感器（共性關鍵技術類）

2.3 高溫高頻響硅基壓力敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.4 浸入式微型液體壓力敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.5 微量程流量敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.6 絕對式位移精密測量敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.7 寬溫區(qū)MEMS 光纖多物理量敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.8 非接觸溫度場敏感元件及智能傳感器（共性關鍵技術類）

2.9 高精度高分辨光場圖像敏感元件及智能傳感器（共性關鍵技術類）

2.10 4D 成像毫米波雷達傳感器（共性關鍵技術類）

2.11 寬溫域高精度量子電流敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.12 快響應自給能中子敏感元件及復合傳感器（共性關鍵技術類）

2.13 界面穩(wěn)定電化學氣體敏感元件及智能傳感器（共性關鍵技術類）

2.14 超快響應濕度敏感元件及傳感器（共性關鍵技術類）

2.15 疾病標志物單分子免疫敏感元件及分析儀器（共性關鍵技術類）

2.16 生物分子超高通量篩查微陣列芯片及快速檢測傳感器（共性關鍵技術類）

2.17 MEMS 敏感元件設計與產(chǎn)品開發(fā)（共性關鍵技術類，科技型中小企業(yè)項目）

3 譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應用

3.1 大型模鍛壓機運行狀態(tài)監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應用（應用示范類）

3.2 紗線生產(chǎn)關鍵工序質量在線檢測傳感器及系統(tǒng)應用（應用示范類，定向擇優(yōu)）

3.3 儲糧品質高精度檢測傳感器及國家儲備糧庫應用（應用示范類，定向擇優(yōu)）

3.4 煤炭采掘過程監(jiān)測傳感器及采煤作業(yè)安全預警應用（應用示范類）

3.5 列車前向運行環(huán)境監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應用（應用示范類）

4 傳感器研發(fā)支撐平臺

4.1 多尺寸兼容的多材料體系MEMS 研發(fā)平臺（共性關鍵技術類）

4.2 8 英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS 傳感器制造工藝平臺（共性關鍵技術類）

項目申報單位網(wǎng)上填報預申報書的受理時間為：2023年6月20日8:00至7月24日16:00。