安徽北方微電子研究院集團有限公司工作人員在調(diào)試設(shè)備。 劉紫薇攝

近日，在第五屆國際新材料產(chǎn)業(yè)大會上，安徽蚌埠市委常委、常務(wù)副市長葛瑞向眾多投資者與企業(yè)家推介了本地硅基、先進金屬、無機非金屬等前沿新材料產(chǎn)業(yè)，傳遞出蚌埠聚力打造新材料產(chǎn)業(yè)新高地的堅定決心。

作為一座老工業(yè)城市，蚌埠敏銳捕捉到產(chǎn)業(yè)變革的脈搏，積極推動新材料與智能制造深度融合。在此過程中，傳感器逐漸成為驅(qū)動蚌埠工業(yè)煥新的關(guān)鍵引擎。

發(fā)揮基礎(chǔ)優(yōu)勢

走進安徽蚌埠的“中國傳感谷”展廳，一個由智能感知技術(shù)編織的萬物互聯(lián)新世界在記者眼前徐徐展開。腳步所至，燈光依次點亮，空調(diào)自動調(diào)節(jié)至舒適溫度，電子屏幕實時顯示出環(huán)境溫濕度與空氣質(zhì)量數(shù)據(jù)。一旁的展臺上，小巧的傳感裝置能通過步態(tài)分析為腦梗與中風(fēng)的風(fēng)險評估提供參考；而看似普通的鏡子，也因搭載了觸摸、視覺、紅外等多種傳感器，能夠迅速采集面部數(shù)據(jù)，化身為專業(yè)的“美妝顧問”。

“層出不窮的新產(chǎn)品和新技術(shù)，背后是蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)數(shù)十年的積累與沉淀?！卑霾航?jīng)開區(qū)黨工委委員、管委會副主任董思敏介紹，早在1979年，第五機械工業(yè)部第二〇七研究所光電集成器件研究分所（以下簡稱“研究所”）正式在蚌埠命名成立。作為微電子領(lǐng)域的先行者，研究所在20世紀90年代便涉足微納制造領(lǐng)域，成為國內(nèi)最早探索這一前沿方向的單位之一。這一先發(fā)優(yōu)勢，為蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)起步發(fā)展奠定了關(guān)鍵基礎(chǔ)。

“到20世紀末，蚌埠便已是國內(nèi)重要的傳感器制造基地?！倍济舯硎?，地處淮河之濱的蚌埠不僅是華東重要的綜合交通樞紐，更具有科研基礎(chǔ)與產(chǎn)業(yè)實力。這里集聚了包括中國玻璃工業(yè)設(shè)計研究院在內(nèi)的7所國家級研究院所，擁有安徽財經(jīng)大學(xué)等6所高校，以及一批中職院校和地方科研機構(gòu)。這座老工業(yè)城市在機械制造方面具有扎實根基，為傳感器產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展提供了豐厚土壤。

“隨著新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革到來，蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展遭遇了瓶頸。”董思敏坦言，蚌埠傳感器企業(yè)不少，但布局分散，產(chǎn)品多集中于中低端領(lǐng)域，難以適應(yīng)智能化、高端化的市場需求，亟需轉(zhuǎn)型升級。

2022年，脫胎于研究所的安徽北方微電子研究院集團有限公司正式成立。該公司科技產(chǎn)業(yè)部部長助理胡志揚介紹，公司建成智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線，具有設(shè)計、制造、封裝、篩選測試及應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，通過龍頭企業(yè)引領(lǐng)、協(xié)同攻關(guān)，有效推動產(chǎn)業(yè)鏈整體升級，構(gòu)建適宜傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新生態(tài)體系。

集中資源發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)，蚌埠正式與安徽北方微電子研究院集團有限公司達成合作，按照“一谷三園多址”產(chǎn)業(yè)集群總體布局，著力打造國內(nèi)一流、國際知名的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

“所謂‘一谷’即‘中國傳感谷’，依托安徽北方微電子研究院集團有限公司、希磁科技等鏈主企業(yè)，集聚資源發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)?！倍济舯硎?，“三園”即MEMS（微機電系統(tǒng)）核心器件產(chǎn)業(yè)園、科技孵化園、中央創(chuàng)新園，結(jié)合企業(yè)在不同發(fā)展階段的特征，構(gòu)建梯次政策體系，實現(xiàn)精準招商與企業(yè)培育。此外，針對布局較為零散的傳統(tǒng)傳感器產(chǎn)業(yè)，則通過“多址”方式進行有序承接和過渡緩沖。

依托核心招商

在安徽華鑫微納集成電路有限公司（以下簡稱“華鑫微納”）的潔凈車間里，透過寬大的觀察窗，記者看到數(shù)臺專用天車沿著空中軌道平穩(wěn)滑行，穿梭往返中，閃爍著金屬光澤的晶圓被精準交付至指定工序。

據(jù)介紹，這條產(chǎn)線投資超50億元，不僅是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線，也是國內(nèi)首條設(shè)備配套完整的壓電MEMS量產(chǎn)線、全國第一條8英寸腦機接口柔性電極線?！澳壳爱a(chǎn)線處于量產(chǎn)爬坡期，今年年底將達到每月產(chǎn)能1萬片。待產(chǎn)線全部投產(chǎn)后，每月產(chǎn)能預(yù)計可達3萬片?！比A鑫微納研發(fā)經(jīng)理廖啟超表示，作為主要從事MEMS晶圓制造的高新技術(shù)企業(yè)，公司致力于在工業(yè)級高端MEMS芯片上實現(xiàn)國產(chǎn)替代，“我們立志成為國內(nèi)領(lǐng)先的開放式、定制化MEMS代工平臺，向全國乃至全球智能傳感器企業(yè)供貨”。

廖啟超表示，除華鑫微納的8英寸生產(chǎn)線外，安徽北方微電子研究院集團有限公司擁有一條月產(chǎn)5000片的6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線，可為客戶提供低成本的中試與小批量試產(chǎn)服務(wù)，6英寸研制線、8英寸量產(chǎn)線互為補充，將有效助力智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)的構(gòu)建與完善。

為實現(xiàn)傳感器產(chǎn)業(yè)快速轉(zhuǎn)型升級，蚌埠依托工業(yè)大市優(yōu)勢，緊抓制造環(huán)節(jié)，不斷推動關(guān)鍵生產(chǎn)線落地?！鞍霾耗壳耙褤碛屑呻娐泛蚆EMS晶圓生產(chǎn)線，這在全國都不多見，這種稀缺的產(chǎn)業(yè)資源，成為蚌埠招引企業(yè)的重要支撐?！卑霾航?jīng)開區(qū)經(jīng)貿(mào)發(fā)展局副局長王健表示。

同時，蚌埠錨定智能傳感器發(fā)展特性，基于產(chǎn)線基礎(chǔ)著力打造開放的公共服務(wù)平臺，持續(xù)促進產(chǎn)業(yè)集聚。

“與以往的傳感器不同，智能傳感器一般具有集成化、小型化等特點。在制造環(huán)節(jié)上，一款智能傳感器用于技術(shù)驗證的中試產(chǎn)線投資往往高達數(shù)億元甚至數(shù)十億元，遠超大多數(shù)企業(yè)的承受能力，這成為傳感器發(fā)展的重要掣肘?！蓖踅≌J為，要解決“研而不產(chǎn)”“產(chǎn)而無研”的斷層問題，需要為企業(yè)搭建研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵橋梁，從根本上降低制造成本。

蚌埠市與安徽北方微電子研究院集團有限公司合作，通過政府引導(dǎo)扶持、企業(yè)投資運營的方式，建設(shè)力傳感器工藝線、溫濕聲類傳感器工藝線、高溫共燒陶瓷工藝線及傳感器檢驗試驗平臺等9個公共技術(shù)服務(wù)平臺，為設(shè)計企業(yè)和初創(chuàng)企業(yè)提供流片、工藝孵化服務(wù)。

“這9個公共技術(shù)服務(wù)平臺囊括MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為入駐園區(qū)的創(chuàng)業(yè)型企業(yè)和中小企業(yè)補齊上下游產(chǎn)業(yè)鏈短板?！蓖踅”硎荆蒲袌F隊可依托中試產(chǎn)線，快速完成原創(chuàng)技術(shù)工程化驗證與試產(chǎn)，順利落戶傳感谷。這一優(yōu)勢正吸引越來越多的傳感器上下游企業(yè)聚集，進一步增強產(chǎn)業(yè)生態(tài)向心力。

數(shù)據(jù)顯示，蚌埠已吸引200多家智能傳感器上下游企業(yè)落戶發(fā)展，其中40多家專精特新企業(yè)初步形成從材料、設(shè)計、制造、封裝、測試到應(yīng)用的完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。

健全培育體系

在第五屆國際新材料產(chǎn)業(yè)大會展區(qū)內(nèi)，智能傳感是五大核心展覽板塊之一，集中亮相的一系列高性能慣性傳感器與壓力傳感器，以其精密的結(jié)構(gòu)與前沿的技術(shù)，引得不少參會嘉賓駐足。

“隨著新興產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，智能傳感器產(chǎn)業(yè)迎來前所未有的發(fā)展機遇?！卑霾航?jīng)開區(qū)科技經(jīng)濟信息化局副局長程詩浩說，在機器人領(lǐng)域，柔性觸覺傳感器是實現(xiàn)精準抓握的關(guān)鍵；在智能網(wǎng)聯(lián)汽車領(lǐng)域，高性能慣性傳感器支撐著流暢的人機交互……越來越多的傳感器滲透到未來科技的眾多場景。今年9月份，中國傳感谷獲評安徽省通用人工智能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新園區(qū)。面對人工智能發(fā)展時代機遇，智能傳感器將有效發(fā)揮精準感知、實時采集和邊緣處理作用，為人工智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供“硬支撐”。

對蚌埠而言，挑戰(zhàn)也隨之而來。依托“一個科研院所帶動一個產(chǎn)業(yè)”發(fā)展模式，蚌埠走出一條契合自身資源稟賦的務(wù)實路徑。但面對更加智能化的未來，技術(shù)迭代加速、競爭格局重構(gòu)，現(xiàn)有研發(fā)體系能否支撐產(chǎn)業(yè)持續(xù)跟上時代浪潮？

今年5月份，由安徽北方華鑫智感科技有限公司（以下簡稱“華鑫智感”）打造的中國傳感谷智能傳感器中試平臺被工信部評為首批重點培育中試平臺?！熬劢雇黄聘咝阅軅鞲衅鳌ú弊印夹g(shù)，我們構(gòu)建‘基礎(chǔ)研究—工程化—產(chǎn)業(yè)化’創(chuàng)新鏈條，實現(xiàn)覆蓋力、熱、聲、光、濕、氣、磁等十二大類傳感器全工藝流程?！痹摴靖笨偨?jīng)理魏剛劍表示，公司致力于打造從核心敏感元件研發(fā)到智能整機制造的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新體系。

據(jù)了解，華鑫智感在MEMS諧振壓力傳感器等高端產(chǎn)品上已實現(xiàn)多項技術(shù)突破，精度高達0.01%。溫度傳感器可覆蓋負200攝氏度至正1600攝氏度超寬溫區(qū)。

“唯有堅持科技先行引領(lǐng)，推動科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合，才能使蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)永葆活力?！倍济粽f，蚌埠經(jīng)開區(qū)重點打造一批企業(yè)研發(fā)中心、技術(shù)中心和新型研發(fā)機構(gòu)，借助各類平臺，有效打通產(chǎn)學(xué)研用各環(huán)節(jié)。同時，培育一批優(yōu)質(zhì)科技型企業(yè)，著力打造“多點開花”發(fā)展格局，為營造充滿活力的創(chuàng)新生態(tài)奠定基礎(chǔ)，從而推動產(chǎn)業(yè)鏈實現(xiàn)整體躍升。

蚌埠市針對不同發(fā)展階段的企業(yè)實施分層精準扶持，建立系統(tǒng)而細致的企業(yè)培育機制。對初創(chuàng)企業(yè)而言，著力打通資源渠道，通過對接科研院所、創(chuàng)投資本和市場平臺，助其“創(chuàng)無憂、資不愁、路不堵”；對專精特新“小巨人”企業(yè)而言，側(cè)重優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動延鏈補鏈強鏈，助力其向領(lǐng)軍企業(yè)躍升。同時，以耐心資本為支撐，設(shè)立多只產(chǎn)業(yè)基金，以投帶引、投早投小，化解企業(yè)研發(fā)與成長中的資金難題，以全程“陪伴式”服務(wù)，營造讓企業(yè)放心投資、安心發(fā)展的優(yōu)良環(huán)境。

“人才是科技創(chuàng)新基礎(chǔ)支撐?！倍济舯硎?，蚌埠還著力加強人才引育，推行“按薪定才”、賦予企業(yè)自主認定權(quán)，并選派高?！翱萍几笨偂比肫?，促進產(chǎn)學(xué)研融合。

“蚌埠的人才政策很實在?！比A鑫微納技術(shù)研發(fā)部高級經(jīng)理蒲義深有感觸。2024年5月，因企業(yè)合作契機，他從上海來到蚌埠工作。當?shù)卣鶕?jù)他的崗位和薪資水平，將其認定為D類高層次人才，并在次年全面落實相關(guān)待遇。

數(shù)據(jù)顯示，2025年1月至10月，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)85家規(guī)上工業(yè)企業(yè)產(chǎn)值達80.86億元、同比增長24.6%。蚌埠正繼續(xù)書寫屬于自己的“傳感器答卷”。（經(jīng)濟日報記者 梁 睿 李思隱）