傳感器與計(jì)算機(jī)、通信并稱(chēng)為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱。當(dāng)計(jì)算機(jī)向深度學(xué)習(xí)、人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)等類(lèi)人腦方向發(fā)展，通信向5G、6G、物聯(lián)網(wǎng)等方向發(fā)展，傳感器將何去何從？

傳感器被稱(chēng)為“電五官”，其發(fā)展大致經(jīng)歷了三個(gè)階段：結(jié)構(gòu)型傳感器（始于20世紀(jì)50年代）、固體傳感器（始于20世紀(jì)70年代）、智能傳感器（始于20世紀(jì)末）。近年來(lái)，在需求牽引和技術(shù)推動(dòng)的影響下，集成化、微型化、低功耗、高性能、智能化成為傳感器的整體發(fā)展趨勢(shì)，而MEMS傳感器就是這一趨勢(shì)下的重要方向之一。

MEMS傳感器增長(zhǎng)迅速

2026年規(guī)模可達(dá)893億元

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）即微機(jī)電系統(tǒng)，是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

△MEM工藝流程

MEMS產(chǎn)品尺寸一般在1μm~1mm之間（頭發(fā)直徑約50μm），可在微觀尺度上單獨(dú)或批量執(zhí)行傳感、控制和驅(qū)動(dòng)操作，并在宏觀尺度上實(shí)現(xiàn)各類(lèi)功能，兼具微型化、低成本、高效能、可大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

△MEMS傳感器&執(zhí)行器

MEMS產(chǎn)品主要分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器兩大類(lèi)。其中MEMS傳感器是用于探測(cè)和檢測(cè)物理、化學(xué)、生物等現(xiàn)象和信號(hào)的器件，而MEMS執(zhí)行器是用于實(shí)現(xiàn)機(jī)械運(yùn)動(dòng)、力和扭矩等行為的器件。

MEMS傳感器是整個(gè)MEMS市場(chǎng)的主力軍，占比約為74%。據(jù)Yole預(yù)測(cè)，MEMS傳感器全球市場(chǎng)規(guī)模將由2020年的90億美元增長(zhǎng)至2026年的128億美元（折合人民幣893億元），CAGR（年均復(fù)合增長(zhǎng)率）為6.1%，規(guī)模增長(zhǎng)迅速。

奮起直追

國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器大有可為

我國(guó)MEMS傳感器的起步時(shí)間相對(duì)較晚，種種原因造成我國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)與國(guó)外有明顯差距。為此，我國(guó)陸續(xù)出臺(tái)相關(guān)政策，大力支持MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2016年，我國(guó)發(fā)布《“十三五”國(guó)家科技創(chuàng)新規(guī)劃》，提出要開(kāi)展MEMS傳感器的研發(fā)，提高自主研發(fā)能力，開(kāi)展工業(yè)傳感器核心器件、智能儀器儀表、傳感器集成應(yīng)用等技術(shù)攻關(guān)。

此后，我國(guó)又陸續(xù)發(fā)布《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南（2017-2019）》《促進(jìn)新一代人工智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展三年行動(dòng)計(jì)劃（2018-2020）》《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策》《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本）》《2019年工業(yè)強(qiáng)基重點(diǎn)產(chǎn)品，工藝“一條龍”應(yīng)用計(jì)劃示范企業(yè)和示范項(xiàng)目公示》《基礎(chǔ)電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃（2021-2023 年）》，以及“十四五”規(guī)劃等政策，在宏觀層面對(duì)我國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到了很好的指導(dǎo)、幫扶作用。

我國(guó)部分省市也有出臺(tái)相關(guān)政策，支持當(dāng)?shù)貍鞲衅髌髽I(yè)的發(fā)展。如廣州、上海等明確表示，會(huì)對(duì)MEMS傳感器相關(guān)企業(yè)在當(dāng)?shù)芈鋺?hù)、設(shè)立研發(fā)中心、產(chǎn)值突破一定金額等給予相應(yīng)的資金獎(jiǎng)勵(lì)。

值得注意的是，我國(guó)在2021年末發(fā)布的《科學(xué)技術(shù)進(jìn)步法》提到，“對(duì)境內(nèi)自然人、法人和非法人組織的科技創(chuàng)新產(chǎn)品、服務(wù)，在功能、質(zhì)量等指標(biāo)能夠滿足政府采購(gòu)需求的條件下，政府采購(gòu)應(yīng)當(dāng)購(gòu)買(mǎi)；首次投放市場(chǎng)的，政府采購(gòu)應(yīng)當(dāng)率先購(gòu)買(mǎi)， 不得以商業(yè)業(yè)績(jī)?yōu)橛捎枰韵拗??！备鞯丶娂婍憫?yīng)，陸續(xù)出臺(tái)“政府集中采購(gòu)目錄及標(biāo)準(zhǔn)”，自此拉開(kāi)了國(guó)產(chǎn)替代的大幕。實(shí)際上，不僅是政府采購(gòu)，隨著近年來(lái)國(guó)產(chǎn)品牌的崛起，民營(yíng)國(guó)產(chǎn)品牌也開(kāi)始青睞國(guó)內(nèi)上游供應(yīng)商，這無(wú)疑又為國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器注入一劑強(qiáng)心劑。

簡(jiǎn)而言之，下游需求牽引、產(chǎn)業(yè)政策支持以及國(guó)產(chǎn)替代，為我國(guó)MEMS傳感器的彎道超車(chē)創(chuàng)造了機(jī)會(huì)。

MEM傳感器的主戰(zhàn)場(chǎng)

在下游應(yīng)用領(lǐng)域方面，消費(fèi)、汽車(chē)、工業(yè)、醫(yī)療、航空航天、通信等將成為MEMS傳感器的主戰(zhàn)場(chǎng)。

△部分汽車(chē)傳感器

以汽車(chē)為例，一輛汽車(chē)就有上百個(gè)傳感器，智能型汽車(chē)甚至能達(dá)到200多個(gè)，常見(jiàn)的如汽車(chē)動(dòng)力系統(tǒng)的氧傳感器、曲軸位置傳感器，底盤(pán)系統(tǒng)的加速度傳感器、扭矩傳感器，智能駕駛相關(guān)的激光雷達(dá)等，其中有相當(dāng)一部分為MEMS傳感器。

隨著智能汽車(chē)、新能源汽車(chē)等的不斷發(fā)展，為了追求更加健康、安全、舒適的駕乘體驗(yàn)，車(chē)載空氣質(zhì)量檢測(cè)、新能源車(chē)電池安全檢測(cè)等功能不斷出現(xiàn)，與之對(duì)應(yīng)的車(chē)載MEMS傳感器也愈加豐富。

△漢威ZM102車(chē)載空氣質(zhì)量模塊

比如車(chē)載空氣質(zhì)量傳感器。城市交通日漸擁堵，有大量汽車(chē)尾氣被排放到空氣中，駕駛車(chē)輛時(shí)，如長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟空調(diào)外循環(huán)會(huì)吸入尾氣，而長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟內(nèi)循環(huán)也會(huì)造成車(chē)內(nèi)空氣質(zhì)量下降。漢威科技集團(tuán)推出的ZM102車(chē)載空氣質(zhì)量模塊將MOX半導(dǎo)體氣體傳感器、MEMS制造工藝、高性能微處理器相結(jié)合，可檢測(cè)汽車(chē)外部環(huán)境的空氣污染水平。如前車(chē)排放尾氣，可控制關(guān)閉汽車(chē)空調(diào)的進(jìn)氣門(mén)，以保持車(chē)廂內(nèi)空氣清潔，再配合車(chē)內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)，合理切換空氣內(nèi)外循環(huán)，可顯著提升駕乘體驗(yàn)。