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廣東這樣打造“中國芯”第三極:MEMS傳感器、功率器件等齊發(fā)力

在深圳,華潤微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目于2022年10月開工,項(xiàng)目一期總投資規(guī)模約220億元,聚焦40納米以上模擬特色工藝,項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)48萬片12英寸功率芯片,芯片產(chǎn)品可應(yīng)用于汽車電子、新能源、工業(yè)控制、消費(fèi)電子等領(lǐng)域,將與IC設(shè)計(jì)、封裝、測試等產(chǎn)業(yè)鏈上下游形成聯(lián)動(dòng)集聚效應(yīng)……



在廣州,增芯12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特殊工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目,自2022年年底動(dòng)工起,僅用9個(gè)月零6天完成自樁基啟動(dòng)至主廠房封頂建設(shè),封頂僅5個(gè)多月后,又在今年3月迎來光刻機(jī)進(jìn)場,預(yù)計(jì)今年6月將完成首批設(shè)備安裝,今年12月底完成第一個(gè)有良率的產(chǎn)品下線……


在粵港澳大灣區(qū),半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)的這些項(xiàng)目建設(shè),對大部分人而言或許有點(diǎn)“神秘”,似乎只是科研人員的專屬領(lǐng)域。然而,它卻又切切實(shí)實(shí)地存在于每個(gè)人觸手可及的地方,從我們每天都會(huì)打交道的電腦、電視、手機(jī),到航天航空、醫(yī)療衛(wèi)生、交通運(yùn)輸?shù)阮I(lǐng)域,幾乎都離不開它,可以說是“無孔不入”。



作為制造業(yè)大省,廣東的電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模連續(xù)33年位居全國首位,手機(jī)、電視、無人機(jī)等產(chǎn)品產(chǎn)量均居全國第一。如何謀劃布局半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)?今年印發(fā)的《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃(2023-2025年)》提到,到2025年,半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)年主營業(yè)務(wù)收入突破4000億元,年均增長超過22%。


營收倍增

四年增長1500億元


作為全國電子信息產(chǎn)業(yè)第一大省,廣東在消費(fèi)電子、通信、人工智能、汽車電子等領(lǐng)域擁有國內(nèi)最大的半導(dǎo)體及集成電路應(yīng)用市場,集成電路進(jìn)口金額占全國的40%左右。在國際技術(shù)封鎖及國內(nèi)區(qū)域競爭加劇的背景下,人才短缺、對外依存度較高等問題成了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的短板,“卡脖子”和“斷鏈”的隱憂頻現(xiàn)。


提升關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)能力、補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈短板,變得至關(guān)重要。2020年,廣東為戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展繪出“路線圖”,半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)正是其中之一。根據(jù)當(dāng)時(shí)的行動(dòng)計(jì)劃,2019年集成電路產(chǎn)業(yè)主營業(yè)務(wù)收入超過1200億元,計(jì)劃到2025年,年主營業(yè)務(wù)收入突破4000億元。



2021年,廣東印發(fā)的《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》更是提出要打造中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極,并描畫出“強(qiáng)芯行動(dòng)”的詳細(xì)“廣東路徑”——做大做強(qiáng)設(shè)計(jì)業(yè),加快補(bǔ)齊制造業(yè)短板,重點(diǎn)發(fā)展模擬芯片、功率器件和第三代半導(dǎo)體等,大力引進(jìn)和培育封測、設(shè)備、材料等領(lǐng)域龍頭企業(yè),增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控的發(fā)展能力。


距離最初許下的這些目標(biāo)有多遠(yuǎn)?今年5月,廣東省工業(yè)和信息化廳電子信息處相關(guān)負(fù)責(zé)人給出的最新數(shù)據(jù)顯示,2023年廣東省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)集群營收超2700億元,已在高端模擬、化合物半導(dǎo)體、MEMS傳感器等特色工藝方面布局一批重大產(chǎn)線項(xiàng)目,基本形成以廣州、深圳、珠海為核心,帶動(dòng)佛山、東莞等地協(xié)同發(fā)展的“3+N”產(chǎn)業(yè)格局。


與數(shù)據(jù)對應(yīng)的,是不斷落戶粵港澳大灣區(qū)的一個(gè)個(gè)重大項(xiàng)目。今年3月,項(xiàng)目投資35億元的深圳清溢光電股份有限公司“平板顯示及半導(dǎo)體用掩膜版”生產(chǎn)基地項(xiàng)目在佛山開工,填補(bǔ)了佛山在顯示和半導(dǎo)體掩膜版領(lǐng)域的空白?!胺鹕绞侵袊闹匾I(yè)基地,選擇在這里建設(shè)生產(chǎn)基地,是清溢光電經(jīng)過深思熟慮后的重要決策?!鼻逡绻怆姸?、總經(jīng)理吳克強(qiáng)說。


俯瞰廣東,一批戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目星羅棋布,正帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)“狂飆”。今年1月-4月,廣東集成電路產(chǎn)量增長39.5%。在廣東省發(fā)展改革委此前公布的2024年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃表名單中,半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)相關(guān)投產(chǎn)項(xiàng)目、繼建項(xiàng)目、新開工項(xiàng)目累計(jì)超過30個(gè),涵蓋第三代半導(dǎo)體、封裝測試、相關(guān)原材料、輔助材料等領(lǐng)域。


產(chǎn)業(yè)沃土

多維助力凝聚“新動(dòng)力”


“廣東作為應(yīng)用大省,芯片需求量巨大,但相比北京和長三角,半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)的頭部企業(yè)還是比較少,在行業(yè)里有影響力的企業(yè)不夠多,產(chǎn)業(yè)聚集度和產(chǎn)業(yè)鏈完善方面不夠?!蔽靼搽娮涌萍即髮W(xué)廣州研究院副院長馬博分析,要高質(zhì)量發(fā)展廣東的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè),招商引資方面必須下功夫。


對標(biāo)廣東打造集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極的目標(biāo),部分地市也在推“政策”、強(qiáng)“招商”。在重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃表名單中,項(xiàng)目落地地市涵蓋廣州、深圳、佛山、珠海、東莞、中山、江門等,其中,東莞在去年出臺(tái)16條政策支持半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè),廣州今年提出成為打造國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”的核心承載區(qū),等等。


在各地的“招數(shù)”中,相較于產(chǎn)業(yè)政策支持,營商環(huán)境也是重要一環(huán)?!扒逡绻怆婍?xiàng)目在去年12月簽訂合作協(xié)議,兩周后取得首個(gè)地塊,66天取得規(guī)劃許可證,并成為佛山市畝均投資強(qiáng)度最高的產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目?!狈鹕绞心虾^(qū)委書記顧耀輝說,南海區(qū)一直把營商環(huán)境作為招商引資的生命線,全力以赴為項(xiàng)目提供最優(yōu)服務(wù)、創(chuàng)造最好環(huán)境。


南海區(qū)已先后引進(jìn)信揚(yáng)科技、匯芯半導(dǎo)體、鴻浩半導(dǎo)體等項(xiàng)目,自主培育出華特氣體、希荻微電子、聯(lián)動(dòng)科技、佛智芯微電子等企業(yè),覆蓋半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的材料、設(shè)計(jì)和封測等環(huán)節(jié),初步形成了“小而精”的南海半導(dǎo)體發(fā)展模式。今年4月,該區(qū)還設(shè)立了半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)投基金,一期規(guī)模1.2億元。


“2021年,我也曾站在這里,拿著手機(jī)拍過幾張照片,那時(shí)還是雜草可齊腰、牛羊在吃草的田園景象。”廣州增芯科技有限公司董事長陳曉飛回憶,增芯項(xiàng)目經(jīng)過了9個(gè)月土建封頂,12個(gè)月首臺(tái)套設(shè)備搬入。在增芯的光刻機(jī)到來之路上,光刻機(jī)到達(dá)白云機(jī)場后,僅用15分鐘就完成了通關(guān),再由卡車運(yùn)至增芯項(xiàng)目工廠。


“一年內(nèi)拿地、開工、裝機(jī),充分展現(xiàn)了敢為人先的‘增城速度’。”廣州市增城區(qū)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,增城踐行“隨叫隨到、說到做到、服務(wù)周到”的承諾,為增芯提供更加高效、便捷的“全生命周期”服務(wù)。作為廣州半導(dǎo)體與集成電路的兩極之一,增城相繼布局增芯、越海、廣東微技術(shù)工研院、中微廣州等骨干項(xiàng)目,覆蓋制造、封測、裝備、材料和平臺(tái)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。



當(dāng)然,政府的助力只是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一方面,關(guān)鍵還是平臺(tái)或者企業(yè)練好自身內(nèi)功?!叭ツ?月,西安電子科技大學(xué)廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心中試線正式通線,項(xiàng)目建成后,將具備6-8英寸氮化鎵晶圓生長、工藝制備、封測等全流程研發(fā)和技術(shù)服務(wù)能力。這個(gè)項(xiàng)目投入非常好,目前平臺(tái)發(fā)揮的作用還不夠。”馬博說。


“圍繞這個(gè)平臺(tái)要培養(yǎng)半導(dǎo)體和集成電路行業(yè)的相關(guān)人才,而這就急需平臺(tái)作支撐,并有充沛的高水平的師資。人才的支撐不是虛的,不是我需要這樣的人,這樣的人就能來,要依托這種有影響力的平臺(tái)吸引一些人才。同時(shí),政府也能給予人才相應(yīng)的福利待遇?!瘪R博表示,中試線如果跑通運(yùn)行得非常好,將與企業(yè)合作來建生產(chǎn)線。



在產(chǎn)業(yè)政策、營商環(huán)境的加持下,一批批優(yōu)秀人才也在涌向粵港澳大灣區(qū)創(chuàng)業(yè)。第十屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國總決賽成長組全國總排名第七的光為科技,就是一個(gè)例子?!拔覀兊膭?chuàng)始人就是這個(gè)領(lǐng)域的頂尖人才,每年有大量的錢投給研發(fā),還引進(jìn)了大批海外的工程師、博士?!惫鉃榭萍脊ぷ魅藛T陳澤說。


如今,光為科技已成功研發(fā)和量產(chǎn)出擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的世界領(lǐng)先的高速光芯片、3D感知光芯片以及超低能耗光模塊等系列產(chǎn)品?!拔覀儸F(xiàn)在被國家超算中心列為了它的單一來源采購,也通過了一系列的驗(yàn)證測試?!痹陉悵煽磥?,廣東整體的產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境是很好的,“只要我們發(fā)展到它應(yīng)允的條件,兌現(xiàn)是一定沒有問題的”。


文、圖|記者 許張超 孫晶

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